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按潔凈室的氣流流型劃分

國內外通常以氣流流型劃分潔凈室類型。

（一）單向流潔凈室

單向流潔凈室的氣流是從室內送風一側平行、直線、平穩地流向相對應的回風側，它是將室內污染源散發出的污染物在未向室內擴散之前就被潔凈空氣壓出房間，送入的潔凈空氣對污染源起到隔離作用。單向流潔凈室可分為垂直單向流潔凈室和水平單向流潔凈室。

（二）非單向流潔凈室（亂流潔凈室）

非單向流潔凈室(亂流潔凈室)的氣流以不均勻的速度呈不平行流動，伴有回流或渦流。適合用這種潔凈室的場合潔凈度要求一般。這類潔凈室靠送風氣流不斷稀釋室內空氣，把室內污染物排出，達到平衡。要保證稀釋作用很好地實現，的一點是室內氣流擴散得越快越均勻越好。

（三）混合流（局部單向流）潔凈室

混合流(局部單向流)潔凈室既有單向流又有非單向流。

送風量大

潔凈度的提高和維持是半導體器件廠房空調系統設計和運行的重要任務，這一任務的完成要依賴很高的送風量，是以高能耗為代價的。就送風量而言，一般辦公大樓換氣次數為10h-1左右，而大規模半導件器件廠房內，為了滿足相應的潔凈度要求，需要保證很高的換氣次數，致使循環風量非常大。100級潔凈室的換氣次數可選到400h-1，10000級潔凈室的換氣次數日選到40 h-1，100000級潔凈室的換氣次數也要30 h-1。

工藝設備的發熱情況隨不同的生產工藝不同而不同，有些工藝設備是高發熱設備，就需要較多冷負荷來抵消?？傊?，潔凈廠房空調系統具有排風量大、送風量大、工藝設備發熱量大、阻力大和風機靜壓高的特點，這些共同造就了潔凈廠房空調系統的高耗能。

自然潔凈室和單純空調房間相比，單位面積建設費用和能耗要大得多。但潔凈凈化空調系統的節能問題，在國內尚未引起足夠的重視。但隨著信息產業向我國的戰略性轉移，潔凈廠房的高耗能、節能問題也成為能源緊缺的我國一個不可回避的問題。目此，潔凈室與清潔廠房的空調系統的節能就有著積極的意義。